MNE USULI BILAN SI YUZASIDA NANOPLYONKALAR HOSIL QILISH VA ULARNING FIZIK XUSUSIYATLARINI O'RGANISH

Abstract

Ushbu maqolada ko'p qatlamli geterotizimlarni taglikning struktura (morfologiya)sini saqlab qolgan holatda epitaksial o'stirish va nanoplyonkalar olish usuli ko'rib o'tiladi. O'ta yupqa va noyob xususiyatli plyonkalar asosan yuqori vakuum sharoitida olinadi.

Shuning uchun ushbu maqolaning asosiy maqsadi yupqa plyonkalarni o'ta yuqori vakuumda olish usullari va qurilmalari bilan tanishish hamda tadqiqotlar o'tkazish orqali Si yuzasida nanoplyonkalar hosil qiladi